环氧乙烷低温下为无色液体，密度为1.52，具有芳香醚味，嗅阈值为760mg/m3，沸点为10.8℃，易燃易爆气体，最低燃烧浓度为3%，中等毒性，其穿透力极强，对器械几乎无任何损伤，光谱杀菌。
灭菌条件包括：450mg/L-1200mg/L，温度为37-63℃，时间为1-6h，相对湿度在60%-80%，除RH外，物品本身的含水量也可能影响灭菌效果。在一定范围内，温度升高，浓度增加，可使灭菌时间缩短。在使用环氧乙烷灭菌时必须合理选择温度、浓度和时间参数。
注意点包括：残留问题、毒性问题、易燃易爆、不能使用生理盐水进行预处理、遇水产生有毒的乙二醇，绝对不可用于食品的灭菌。