氮化硅陶瓷特性：
由于氮化硅陶瓷自身的原子结构，导致材料的变形抗力远远大于其本身的剪切应力，在对氮化硅陶瓷进行表面加工时，容易形成很大的表面缺陷。

氮化硅薄片加工难点在哪里？
由于氮化硅陶瓷材料自身的硬脆特性以及缺陷敏感性,使其在加工过程中容易形成表面缺陷，极大地降低了氮化硅陶瓷的可靠性。
氮化硅陶瓷在高温、重载等极端苛刻条件下,这些表面缺陷降低了氮化硅陶瓷自身的机械性能并且容易造成疲劳失效。
因此，如何对氮化硅陶瓷表面进行高效、高质量地加工，是当前高技术陶瓷加工研究中的重要难题。