用液氨分解来制取保护气体，在工业上是很容易实现的，这是因为：

1、氨易分解：常压，800～850℃在催化剂作用下，即使空速较大，氨分解度仍可超过99%。
2、气体精制容易：作为液氨纯度是很高的，其中挥发性杂质只有少是惰性气体和水分，特别值得注意的是其中含O2极微，同时，氨分解时不可能有副反应发生。由此可见，氨分解后气体只要设法除去比较容易除去的少量水分就能得到精制了，半导体工业上所不希望存在的金属离子cl、CO2等问题都不存在了。
3、原料液氨容易得到。价格低廉，而且原料消耗也比较少（每公斤氨可产生2.6M3混合气体。）