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如何降低PECVD的色差

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公司在生产太阳能硅片时，有用到PECVD这一流程，但是由于真空泵管的路弯头太多，影响了抽真空的效率，这样会造成PECVD的颜色跨度大。现在需求相应的技术和手段来解决这样的PECVD颜色跨度大。
寻求专家有偿技术指导与合作，微信（QQ）
2090659351
1楼2016-05-11 10:07回复
    有人可以做吗？
    2楼2016-05-16 10:58
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      3楼2016-05-18 17:11
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        4楼2016-05-19 10:19
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          有人可以解决吗？
          5楼2016-05-24 15:59
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            。。。楼主在不
            IP属地:广东来自Android客户端6楼2018-04-12 07:09
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              加大流量干泵。
              IP属地:安徽来自iPhone客户端7楼2019-12-16 00:02
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                颜色跨度大不一定是真空导致的，蝶阀角度能稳定，真空能控制在一定范围就可以了，颜色跨度大与温区的实际温度以及占空比有关
                IP属地:江苏8楼2020-11-07 08:56
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                  本公司专业生产，箱式炉、气氛炉、管式炉、升降炉、高温炉、退火炉、烧结炉、真空炉、厂家直销价格优惠
                  9楼2020-11-10 09:35
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                    可以用R2R来优化制程
                    10楼2021-08-03 16:12
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