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如何降低PECVD的色差

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公司在生产太阳能硅片时,有用到PECVD这一流程,但是由于真空泵管的路弯头太多,影响了抽真空的效率,这样会造成PECVD的颜色跨度大。现在需求相应的技术和手段来解决这样的PECVD颜色跨度大。
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1楼2016-05-11 10:07回复
    有人可以做吗?


    2楼2016-05-16 10:58
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      3楼2016-05-18 17:11
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        4楼2016-05-19 10:19
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          有人可以解决吗?


          5楼2016-05-24 15:59
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